MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究

• 作者: 张鉴 戚昊琛 胡智文 黄雨濛
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 电容压力传感器 检测电路 优缺点
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 186-189
• 页数: 4页
• 分类号: TN710.1
• 字数: 3028字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2015.01.049

摘要

介绍了MEMS电容式压力传感器检测电路的5种实现方式:脉宽调制法、运算放大器法、电荷注入法、调频法和AC运放法.并从稳定性、测量灵敏度及抗杂散性等方面介绍了不同方式下检测电路的优缺点,为MEMS电容式压力传感器提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鉴	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	34	291	9.0	16.0
2	戚昊琛	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	22	99	6.0	8.0
3	胡智文	浙江传媒学院新媒体学院	9	35	3.0	5.0
4	黄雨濛	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	9	1.0	1.0