PECVD的原理与故障分析

• 作者: 曹健
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相淀积 等离子增强型化学气相淀积 故障分析 工艺维护
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3032字
• 语种: 中文

摘要

介绍了PECVD 工艺的种类、工艺原理以及设备的基本结构；根据多年对设备的维护经验，分析了PECVD 设备的常见原因，提出了处理措施；最后，分析总结了影响PECVD 工艺质量的主要因素。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹健	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	13	2.0	3.0