微焦点X射线管透射式阳极靶的优化设计

• 作者: 刘华荣 孙步梁 李艺晶 王俊听 罗婷婷 郑磊
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微焦点X射线 阳极靶 蒙特卡罗法 有限元法 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 1443-1448
• 分类号: TL99
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.12.08

摘要

微焦点X射线源透射式阳极靶的参数优化,对于增加微焦点X射线管的出光强度、减小X射线焦斑尺寸、提高X射线成像分辨率有着重要的意义.本工作中依据理论分析,通过蒙特卡罗法MCNP软件描述了能量为20到160 keV的电子束条件下生成X射线的强度变化,确定薄层透射阳极靶的最佳厚度;利用有限元法分析大束流密度电子束轰击阳极靶时内部的温度场分布,明确了阳极靶的局域热负荷能力;采用磁控溅射方式生长阳极靶材,结合表征分析和出光实验测量的结果,初步确定了透射式阳极靶的结构及实验工艺,为高亮度点X射线管的开发提供了必要的理论和实验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑磊	中国电子科技集团公司第三十八研究所	10	14	2.0	3.0
2	王俊听	中国电子科技集团公司第三十八研究所	3	6	1.0	2.0
3	刘华荣	中国电子科技集团公司第三十八研究所	4	4	1.0	2.0
4	罗婷婷	中国电子科技集团公司第三十八研究所	4	4	1.0	2.0
5	孙步梁	中国电子科技集团公司第三十八研究所	1	4	1.0	1.0
6	李艺晶	中国电子科技集团公司第三十八研究所	1	4	1.0	1.0