线性离子束制备DLC薄膜的结构和性能

• 作者: 周陶 汪振华 袁军堂 黄雷
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 线性离子束 类金刚石 结合强度 耐磨性
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 48-54
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.06.007

摘要

为研究线性离子束技术在不同基体材料上沉积DLC薄膜的结构和性能,分别在YG6硬质合金、SKD11不锈钢和T7451铝合金表面沉积DLC(类金刚石)薄膜,并采用Cr作为过渡层,缓解膜基不匹配性.通过原子力显微镜、台阶仪和Raman光谱研究薄膜的表面形貌和微观结构;利用划痕仪和摩擦磨损试验机对薄膜膜基结合强度及耐磨性进行测试.结果表明:采用该技术制备的DLC薄膜均匀光滑,表面粗糙度Ra仅为5.5 nm;DLC/Cr/SKD11膜系的ID/IG值低于DLC/Cr/YG6膜系和DLC/Cr/T7451膜系,说明沉积于SKD11表面的DLC含有较多的sp3C;DLC/Cr/SKD11和DLC/Cr/T7451膜系膜基结合强度为42.2N和23.2N,而DLC/Cr/YG6膜系在120 N载荷范围内未有明显破损脱落,结合强度最好;DLC/Cr/YG6膜系摩擦因数(0.09)小于DLC/Cr/SKD11膜系(0.14)和DLC/Cr/T7451膜系(0.32),说明其具有较好耐磨性能.由此看出,不同基体上制备的DLC薄膜结构不同,结合强度和耐磨性也有所差别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪振华	南京理工大学机械工程学院	77	484	14.0	18.0
2	袁军堂	南京理工大学机械工程学院	113	706	14.0	19.0
3	周陶	南京理工大学机械工程学院	2	8	2.0	2.0
4	黄雷	南京理工大学机械工程学院	7	15	3.0	3.0