阴极弧离子镀AlCrN涂层高温氧化后XPS分析

• 作者: 付贵忠 孔德军 张垒 王文昌
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 阴极弧离子镀 AlCrN涂层 高温氧化 物相组成 光电子能谱分析
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 138-142
• 分类号: TG174.44|TG115.5
• 语种: 中文

摘要

采用阴极弧离子镀方法在TiC基金属陶瓷刀具表面沉积了AlCrN涂层,进行了900℃下2h高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD、XPS等手段分析了AlCrN涂层高温氧化前后表面形貌、元素组成、物相组成及元素结合能,并讨论了AlCrN涂层高温氧化及失效机理.结果表明,氧化前AlCrN涂层由AlN、CrN和Cr2N物相组成,其中CrN表现出(200)的择优取向,氧化后其物相转变为抗高温的Al2O3、Cr3O4和Ti4O3氧化物;氧化前AlCrN涂层中Al和N以Al-N键、Cr和N以Cr-N键存在,氧化后Al与O以Al-O键、Cr与O以Cr-O键方式存在,在涂层-基体结合界面处形成了致密的扩散层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔德军	常州大学机械工程学院	95	414	9.0	13.0
5	王文昌	常州大学石油化工学院	43	199	7.0	11.0
6	张垒	常州大学机械工程学院	16	80	5.0	7.0
10	付贵忠	常州大学机械工程学院	20	105	6.0	8.0