激光干涉仪转角准直调节

• 作者: 任耀华 王晓奎
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 光路准直 精密测量
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 37-41
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3628字
• 语种: 中文

摘要

概述了激光干涉仪在精密定位设备的应用,依据激光干涉仪的准直测量原理,详细介绍了激光干涉仪转角准直的调节方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓奎	中国电子科技集团公司第二研究所	6	8	2.0	2.0
2	任耀华	中国电子科技集团公司第二研究所	7	11	2.0	3.0