多晶硅生产的残液高效回收技术

• 作者: 万烨 严大洲 刘德杰 张升学 曾晓国 郑红梅
• 来源期刊: 有色冶金节能
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 残液 四氯化硅 回收技术
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 新能源
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TQ264.1
• 字数: 2516字
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法生产多晶硅的过程中会产生大量富含杂质的四氯化硅残液.国内大部分企业缺少有效的四氯化硅残液处置办法,严重制约多晶硅产能的释放以及成本的降低.本文针对这一问题,研发出了一种高效的四氯化硅残液回收工艺,并研究了压力、温度及四氯化硅蒸气净化除尘对残液回收工艺的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严大洲		20	103	5.0	10.0
3	万烨		10	37	3.0	5.0
9	刘德杰		8	7	2.0	2.0
10	张升学		12	14	3.0	3.0
12	郑红梅		7	9	2.0	3.0
13	曾晓国		4	3	1.0	1.0