乙炔笼网形空心阴极放电特性研究

• 作者: 任逸群 吴明忠 巩春志 李慕勤 田修波 魏荣华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 笼网等离子体浸没离子沉积 放电特性 工艺参数 电流波形
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1403-1407
• 分类号: TB71+6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.12.01

摘要

为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了“笼网等离子体浸没离子沉积技术”.采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分压等工艺参数对笼形空心阴极放电动力学的影响.结果表明:在单个脉冲辉光放电过程中存在自辉光和空心阴极两种放电模式.工艺参数的影响表现为,乙炔气压由2.5升高到8Pa,笼网放电击穿电压由1100降为620V;当脉冲电压从900升高到1400V,对应乙炔流量为200和100 mL/min时,工作气压分别下降1.4和3.9 Pa;提高脉冲电压或氩气分压,笼形空心阴极辉光增强,笼网电流增大,在p(C2H2)∶p(Ar)为1∶4时有最高值32A.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴明忠	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	49	107	6.0	7.0
3	李慕勤	佳木斯大学材料科学与工程学院	172	582	13.0	18.0
4	巩春志	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	69	320	9.0	14.0
5	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
8	任逸群	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	2	2	1.0	1.0