中微交付韩国领先存储器制造商用于3D VNAND闪存工艺的先进刻蚀机

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篇名	中微交付韩国领先存储器制造商用于3D VNAND闪存工艺的先进刻蚀机
来源期刊	电脑与电信	学科
关键词
年，卷（期）	2015,（7）	所属期刊栏目	新闻链接
研究方向		页码范围	9-9
页数	1页	分类号
字数	805字	语种	中文
DOI