光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法

• 作者: 于宏柱 于海利 唐玉国 张善文 李晓天 杨超
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 231-238
• 页数: 8页
• 分类号: TH113.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0108002

摘要

衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量.建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质量的影响.针对该误差设计了一种基于双频激光干涉测量的刻划机刻线位置和转角误差测量的光路,并提出了一种主动控制技术,即采用单压触动器校正刻线位置和转角误差的方法.根据该校正方法设计了刻划机的双层光栅承载工作台结构,并进行了尺寸为80 mm×60 rnm、刻线密度为194 line/mm的光栅刻划实验.实验结果表明,刻划光栅的衍射波前误差由0.23λ降低至0.093λ(λ=632.8 nm),并且原子力显微镜测试光栅刻槽质量符合理论设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	114	799	15.0	23.0
2	唐玉国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	79	905	17.0	26.0
3	张善文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	169	7.0	12.0
4	李晓天	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	20	2.0	4.0
5	于宏柱	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	98	7.0	9.0
6	于海利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	92	7.0	9.0