用于Lamé模态方块谐振器的压控电流源模型

• 作者: 宋亚梅 李昕熠 梁冰 鲍景富
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压控电容 压控电流源(VCCS)模型 非线性 微机械谐振器 等效参数
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 770-778
• 分类号: TH703|TN602
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.12.005

摘要

提出了一种可以用于Lamé模态方块微机械谐振器的压控电流源模型.推导了器件的电气参数以建立电路模型.模型中还加入了一个压控调谐电容来描述谐振器的频率非线性特性.该电容值和模型中的其他参数既可以通过理论计算也可以通过不同方法实验得到.为了证实该模型,采用SOIMUMPs工艺制备了一个频率为9.45 MHz并且包含T型支撑梁结构的绝缘体上硅工艺谐振器,并且在0.015 mTorr(1 Torr=133.322 Pa)真空环境下完成器件的测试.理论计算和实验结果之间参数的最大偏差为18％,该偏差是在60 V偏置电压下得到的,因此该模型的精确性比较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富	电子科技大学电子工程学院	51	296	7.0	14.0
2	梁冰	电子科技大学电子工程学院	1	2	1.0	1.0
3	宋亚梅	电子科技大学电子工程学院	3	12	2.0	3.0
4	李昕熠	电子科技大学电子工程学院	4	8	2.0	2.0