氧化铝陶瓷表面状态对其真空耐压性能的影响

• 作者: 尚阿曼 张巨先 田志英
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝陶瓷 真空耐压性能 研磨加工 表面涂覆 表面施釉
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 1169-1173
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.10.02

摘要

系统研究了经过研磨加工、陶瓷表面施釉及表面涂覆等工艺处理后,氧化铝陶瓷表面状态对其真空耐压性能的影响.结果发现,表面未加工的95％Al2O3陶瓷的可靠电压波动较大,波动幅度可达50％,但经过研磨加工后可靠电压值趋于一致;表面涂覆可以改善氧化铝陶瓷的真空耐压性能,并且改善的情况与涂覆的结构有关;而表面施釉不仅不能改善陶瓷的真空耐压性能,而且还降低了其真空耐压性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张巨先		28	335	9.0	17.0
3	尚阿曼		7	25	3.0	4.0
4	田志英		8	13	2.0	2.0