基材清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响

• 作者: 丁泽良 孙敏 林长生 董运超
• 来源期刊: 湖南工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 清洗工艺 磁控溅射 SiO2/PET膜 结合强度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TU411.7
• 字数: 3032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9833.2015.01.008

摘要

采用磁控溅射工艺，在PET表面沉积SiO2薄膜，利用SEM观察镀膜的表面形貌，通过附着力测试仪检测SiO2/PET膜基的结合强度，研究基材PET表面清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响。结果表明：结合强度因PET基材表面清洗工艺的不同而不同，其中经等离子清洗的膜基结合强度最大，达0.14 MPa，分别较深度清洗、一般清洗和不清洗的膜基结合强度高7.83%,27.27%,55.56%；等离子清洗工艺参数对膜基结合强度有较大影响，随着清洗时间的增加、氩气流量的增大和清洗功率的提高，膜基的结合强度均呈现出先增大后减小的变化趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁泽良	湖南工业大学机械工程学院	24	92	6.0	8.0
2	孙敏	湖南工业大学机械工程学院	2	14	2.0	2.0
3	林长生	湖南工业大学机械工程学院	3	14	2.0	3.0
4	董运超	湖南工业大学机械工程学院	2	14	2.0	2.0