多弧离子镀TiCrN硬质膜的制备及性能

• 作者: 刘智勇 周程 曲树仁 栾威威 王春波
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: TiCrN硬质膜 多孤离子镀 硬度 附着力
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TB43

摘要

采用多弧离子镀技术并使用Ti—Cr合金靶和cr单质靶制备TiCrN硬质膜。利用扫描电镜及能谱分析对TiCrN膜层的成分、表面形貌、断面形貌进行观察和测定。系统考察TiCrN膜层硬度、膜／基附着力以及膜层抗热震性能。结果表明，所制备的TiCrN膜层组织均匀、致密，具有良好的综合性能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周程		3	5	1.0	2.0
2	栾威威		4	2	1.0	1.0
3	刘智勇		2	1	1.0	1.0
4	王春波		2	0	0.0	0.0
5	曲树仁		1	0	0.0	0.0