照明物镜数值孔径对微孔衍射波前质量影响分析

• 作者: 刘成涛 卢增雄 彭卓君 杨光华 齐月静
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 时域有限差分法 数值孔径 微孔衍射 波前质量
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 222-229
• 页数: 8页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0208001

摘要

通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键.采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍射仿真计算,分析了照明物镜数值孔径(N A)对微孔衍射波前质量的影响,确定了满足SHWS高精度标定所需微孔直径和照明物镜NA的大小.分析计算得出,采用直径为200 nm的微孔及NA为0.6～0.75的照明物镜时,衍射波前均方根(RMS)偏差为3.50×10-3λ,强度均匀性为0.10,微孔透射率约为0.15,满足SHWS进行纳米精度波像差检测对参考球面波质量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐月静	中国科学院光电研究院	10	7	2.0	2.0
2	卢增雄	中国科学院光电研究院	9	0	0.0	0.0
3	杨光华	中国科学院光电研究院	8	91	4.0	8.0
4	刘成涛	中国科学院光电研究院	1	0	0.0	0.0
5	彭卓君	中国科学院光电研究院	3	2	1.0	1.0