一种双稳态电磁型MEMS开关

• 作者: 孙建 李慧娟 杨子健 禹继芳 郝长岭
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 开关 双稳态 平面线圈 电磁场 牺牲层
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 49-53
• 分类号: TH703|TN631
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.01.008

摘要

设计了一种低电压驱动的双稳态电磁型MEMS开关结构,其驱动电压可低于5V,与驱动电压几十伏的静电型开关相比,应用时无需增加电荷泵等升压电路.开关活动电极含有软磁性材料,可在平面线圈磁场作用下发生翻转,并在均匀永磁磁场作用下保持稳定状态,无功率消耗.同时重点研究了平面线圈磁场和均匀永磁磁场的分布特点,得出了平面线圈工作电流50～100 mA、磁感应强度小于2 mT的工作条件.并最终采用表面牺牲层工艺制作了原理样机,微加工芯片尺寸小于2.5 mm×2.5 mm.经初步测试,其驱动电压小于5V,触点闭合时接触电阻小于400 mΩ,开关时间小于0.3 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李慧娟		2	5	2.0	2.0
2	孙建		2	5	2.0	2.0
3	杨子健		3	5	2.0	2.0
4	郝长岭		4	6	2.0	2.0
5	禹继芳		3	5	2.0	2.0