在线湿法刻蚀设备的控制系统

• 作者: 刘运洋 司禹 李博 王晓飞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 在线湿法刻蚀 控制系统 CANopen
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 清洗、刻蚀技术与设备
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1788字
• 语种: 中文

摘要

根据在线湿法刻蚀设备的工艺要求及特点,介绍了控制系统的构成,CANopen网络控制方式,以及同步传送、自动补配液、自动清洗等功能,从而保证批量在线生产的工艺效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘运洋		1	0	0.0	0.0
2	李博		1	0	0.0	0.0
3	王晓飞		1	0	0.0	0.0
4	司禹		1	0	0.0	0.0