全自动湿法刻蚀系统在PSS制程中的应用

• 作者: 孙敏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法刻蚀 图形化蓝宝石衬底 全自动
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 清洗、刻蚀技术与设备
• 页码范围: 24-29
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4656字
• 语种: 中文

摘要

介绍了图形化蓝宝石衬底的工艺制程,以及湿法刻蚀的工作原理,针对图形化蓝宝石衬底湿法刻蚀过程中的难点,最大程度上提高全自动湿法刻蚀系统的温度控制以及安全防护功能,使得全自动湿法刻蚀系统在图形化蓝宝石衬底的制备过程中发挥最大优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙敏	中国电子科技集团公司第四十五研究所	17	34	4.0	4.0