利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法制备高纵横比全硅槽的研究

• 作者: 侯洵 司金海 李艳娜 潘安 陈涛
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 超快光学 飞秒激光 硅基狭槽 湿法腐蚀 透镜
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 141-147
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0103007

摘要

利用飞秒激光辐照结合湿法腐蚀方法,制备了高纵横比硅基狭槽.首先利用透镜聚焦飞秒激光至硅片表面,在硅内部诱导结构变化;再结合氢氟酸(HF)溶液选择性腐蚀去除结构变化区域,从而制备出高纵横比硅基狭槽;最后,通过光学显微镜和扫描电子显微镜对狭槽形貌进行表征,研究了狭槽纵横比对激光加工条件如激光功率、扫描速率和数值孔径的依赖特性.结果表明,激光加工条件对于制备高纵横比硅基狭槽存在最优选择.通过优化激光加工参数,可制备出深度为291 μm,纵横比为25.3的硅基狭槽.相对于显微物镜,透镜的工作距离较大,加工过程可以避免镜片污染,且具有成本低,通光孔径大等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛		40	330	9.0	17.0
2	侯洵		46	244	9.0	13.0
3	李艳娜		1	0	0.0	0.0
4	潘安		1	0	0.0	0.0
5	司金海		8	1	1.0	1.0