陶瓷基钯－银合金氢气传感器的研究

• 作者: 何青 耿志挺 金承官
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 钯-银合金薄膜 磁控溅射 氢气传感器 陶瓷基板
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TP212

摘要

氢气传感器研制的核心问题在于高品质氢气敏感材料的选择；氢气传感器的工作特性则由氢气敏感材料的响应性、稳定性和重复性等所决定。本文采用钯－银合金作为氢气敏感材料，利用磁控溅射技术制备出薄膜式氢气传感器，并对该传感器的性能进行了测试。实验结果表明，在0～30％氢气浓度范围内，该传感器表现出良好的线性输出特性，具有较高的灵敏度和较好的响应重复性，且传感器的响应信号强度和响应时间均随着温度的升高而减小，而湿度及压力对氢气传感器检测性能的影响很小。