光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究

• 作者: 庞拂飞 王廷云 贾娜娜 邓传鲁 顾鑫
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 准分子激光 光波导 激光消融 光互连 光印刷背板
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 120-125
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0303012

摘要

面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合.采用193 nm波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板光波导上,研究了激光能量、激光脉冲次数与刻蚀深度、端面粗糙度等参量之间关系,通过刻蚀参数的优化,刻蚀后端面光耦合损耗增加量约1.3 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庞拂飞		29	70	5.0	8.0
2	王廷云		39	232	9.0	14.0
3	贾娜娜		1	0	0.0	0.0
4	邓传鲁		4	0	0.0	0.0
5	顾鑫		1	0	0.0	0.0