氩气压强对不锈钢衬底NiCr薄膜性能的影响

• 作者: 吴浪 李姗 李心茹 杨恢东 王河深
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射 NiCr薄膜 不锈钢衬底 氩气压强
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 213-214
• 页数: 2页
• 分类号: TB331

摘要

采用射频磁控溅射技术在不锈钢基底上制备NiCr金属薄膜，研究不同的氩气压强对样品形貌和光学、附着力性能的影响。结果表明：所制备的NiCr薄膜在中远红外区都具有较高的反射率，平均值约为0．92，附着力级别均能达到5B；氩气压强对薄膜的性能具有较大的影响，具体表现为：随着压强的增大，薄膜的结晶度先上升后下降，均匀性先变好后变坏，在压强为4Pa时薄膜质量最好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨恢东	暨南大学信息科学技术学院	28	154	7.0	11.0
2	李姗	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0
3	吴浪	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
4	李心茹	暨南大学信息科学技术学院	7	14	2.0	3.0
5	王河深	暨南大学信息科学技术学院	8	14	2.0	3.0