f-θ扫描物镜设计与研究

• 作者: 刘金荣
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体设备 f-θ透镜 线性 负畸变
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3542字
• 语种: 中文

摘要

以初级像差理论为基础,借助ZEM A X 光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘金荣	中国电子科技集团公司第四十五研究所	12	24	3.0	4.0