飞行器用高精度小量程石英微加速度计研究?

• 作者: 彭泳卿 李庆丰 杨贵玉 金小锋 陈艳 高阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英加速度计 微机电系统 梳齿电容 窄带宽 有限元分析
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 792-797
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1|TM938.82
• 字数: 2798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.06.003

摘要

为满足对振动环境下10 Hz以下低频小量程加速度信号的高精度测量需求,提出了一种基于石英微工艺的新型窄带宽MEMS加速度计,其敏感元件采用变间距式差分电容梳齿结构。采用有限元分析手段,对敏感元件质量块尺寸、梳齿长度、U型梁刚度、盖板结构、阻尼和带宽等参数进行了综合优化设计。敏感元件采用石英晶片经湿法腐蚀体工艺制作,加速度计样机经过了实际性能测试和环境适应性试验,带宽为8.9 Hz,非线性度约为0.7%,可以满足飞行器小量程低频加速度参数的测量需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金小锋		9	8	1.0	2.0
2	彭泳卿		13	8	1.0	2.0
3	高阳		3	1	1.0	1.0
4	陈艳		2	1	1.0	1.0
5	李庆丰		2	1	1.0	1.0
6	杨贵玉		3	5	1.0	2.0