激光刻蚀聚酰亚胺基底铝薄膜的温度场模拟

• 作者: 任妮 刘孝丽 吴敢 杨建平 熊玉卿 王瑞
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 激光刻蚀 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 分离机制
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 112-116
• 页数: 5页
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0703006

摘要

为了研究1064 nm激光刻蚀聚酰亚胺基底镀铝薄膜的作用机理,采用有限元分析软件ANSYS模拟了激光对聚酰亚胺基底上铝薄膜的刻蚀过程,分析了激光脉冲作用于铝薄膜表面时的能量传输及转化过程,获得了铝薄膜及聚酰亚胺基底中的温度场分布,进一步验证了在脉冲激光作用下由于基底材料易分解而产生的薄膜/基底界面分离机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王瑞		14	81	3.0	9.0
2	熊玉卿		5	66	3.0	5.0
3	杨建平		3	0	0.0	0.0
4	吴敢		3	0	0.0	0.0
5	刘孝丽		1	0	0.0	0.0
6	任妮		1	0	0.0	0.0