大口径反射镜加工机床在线检测高精度对准方法

• 作者: 陶小平
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 在线检测 大口径反射镜 精确对准 图像配准
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 1027-1034
• 页数: 8页
• 分类号: TH741|TP23
• 字数: 4814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20150806.1027

摘要

本文提出了基于特殊点对靶标的快速对准装置，实现机床加工臂和检测臂初始扫描位置自动高精度复位。靶标由外围区域四组放大倍率标定点对和中心区域大小对准点对组成；对准装置经初次使用前的畸变校正后，每次自动识别靶标区域完成自动对焦；根据外围点对进行放大倍率标定；自动识别中心大小点对并对其进行坐标定位；根据当前点对靶标位置计算与理想位置角度量和平移量偏差，指导机床转台和导轨互相配合，迭代调整直至完成精确对准。实验表明该方法对准精度约为5μm，优于几十μm 的机械定位精度，更利于实现超高精度光学加工的快速收敛，提高大口径反射镜加工效率。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶小平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	32	138	6.0	11.0