氩等离子体射流的摩尔分布和光谱变化研究

• 作者: 俞永波 屠彦 户玎岚 杨兰兰
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ar等离子体射流 射流长度 外加电压 放电 光谱 OH自由基
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 1075-1081
• 分类号: O539|TM89
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.09.08

摘要

利用10 kHz的正弦波高压电源驱动在大气环境中产生了稳定的Ar等离子体射流.结合射流的图像,基于Ar在空气中的摩尔分数分布和不同放电位置处光谱的变化,研究了Ar和空气之间的交互影响.随着外加电压的升高射流经历三个阶段:低电压阶段,射流刚能产生,长度较短,Ar在放电中起主导作用;中电压阶段,放电沿射流通道发展,射流长度逐渐增加,在射流的前端Ar与空气的最强光谱强度大致相当;高电压阶段,射流前端流注头携带的能量更大,足以电离空气含量更大的混合气体,此时射流长度线性缓慢增加,整体变粗,并且呈现剑状.研究发现在射流向空气传播的过程中,Ar的各谱线强度衰减速率不同,这可能是激发态的氩原子与基态的氮分子发生了近共振能量转移碰撞导致的.最后分析了射流光谱中OH自由基谱线的产生及减弱的原因,发现空气在其中发挥着重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屠彦	东南大学电子科学与工程学院	87	325	8.0	13.0
2	杨兰兰	东南大学电子科学与工程学院	52	168	7.0	10.0
3	俞永波	东南大学电子科学与工程学院	5	29	3.0	5.0
4	户玎岚	东南大学电子科学与工程学院	4	12	2.0	3.0