MEMS仿生矢量水听器封装结构的隔振研究

• 作者: 杨江涛 邬琦 马喜宏
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS仿生矢量水听器 有限元分析 减振器 封装
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 499-505
• 页数: 7页
• 分类号: TB565.1
• 字数: 3309字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2015.03.006

摘要

利用隔振原理，设计了矢量水声传感器系统中一种新型隔振封装结构模型，即加入橡胶减振器的新型封装结构。采用ANSYS软件对封装模型进行模态分析，研究模型结构和几何尺寸对其隔振性能的影响，确定最优隔振封装结构；对模型的几何尺寸及橡胶隔震材料力学参数进行优化，并对优化模型的隔振性能进行实验测试和评估。实验结果表明：所设计的新型橡胶减振结构具有一定的减振效果，隔离了一定程度的核心器件以外的外界振动干扰，提高了原有封装结构矢量水听器的探测灵敏度。再次验证了硅微MEMS仿生矢量水声传感器不但体积小、质量轻、结构简单，而且具有低频灵敏度高等优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨江涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室	27	121	6.0	10.0
5	邬琦	中北大学计算机与控制工程学院	15	103	6.0	10.0
6	马喜宏	中北大学电子测试技术国家重点实验室	25	93	5.0	9.0