MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究

• 作者: 刘宏 张国军 李振 薛南 薛晨阳 陈桂英
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 封装 ANSYS Virtual.lab acoustic 仿生
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TB565+.1
• 字数: 2728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.01.006

摘要

针对MEMS仿鱼侧线矢量水听器提出三种封装结构,即采用聚氨酯材料制成的透声帽封装结构,透声帽内衬笼状支撑体的封装结构,透声帽内衬瓣状支撑体的封装结构采用ANSYS有限元建立三维封装模型并进行模态仿真,得出其固有频率分别为875 Hz、2 926 Hz、3006 Hz.采用Virtual.lab acoustic进行声衰减仿真并通过试验验证最终得出:内衬支撑体的封装结构,其有效带宽响应比无支撑体的透声帽封装结构宽2.2 kHz左右,同时,实验表明瓣状支撑体的收缩瓣状部分具有聚能效应,这种封装结构的水听器灵敏度比其他两种封装结构在相同频率点处高8 dB～ 12 dB.