碳化硅陶瓷的超声振动辅助磨削

• 作者: 刘民慧 刘立飞 张飞虎
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅陶瓷 超声振动辅助磨削 磨削力比 表面损伤 亚表面裂纹
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2229-2235
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.2|TN304.24
• 字数: 2927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152308.2229

摘要

采用普通磨削方式和超声振动辅助磨削方式对无压烧结SiC材料进行了磨削工艺实验,对不同磨削方式下磨削参数对磨削力比、表面损伤及亚表面损伤的影响进行了对比研究,并分析了超声振动磨削作用机制.实验结果显示,该实验中SiC材料去除主要以脆性去除为主,砂轮磨削力比随着磨削深度和进给速度的增加缓慢增加,随着主轴转速的增加略有减小;普通磨削时SiC工件亚表面损伤深度随着磨削深度、进给速度增加逐渐增加,而超声振动辅助磨削变化较小.与普通磨削相比,在相同的磨削参数下,超声振动辅助磨削的高频冲击使材料破碎断裂情况得到改善,且磨削力比减小近1/3,表面裂纹、SiC晶粒脱落、剥落等表面损伤较少,表面损伤层较浅,亚表面裂纹数量及深度都有较大程度降低,可以获得较为理想的表面质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎	哈尔滨工业大学机电工程学院	132	2251	25.0	41.0
2	刘立飞	哈尔滨工业大学机电工程学院	2	42	2.0	2.0
3	刘民慧	哈尔滨工业大学机电工程学院	1	27	1.0	1.0