激光热力效应对不同材料电化学刻蚀形貌的作用研究

• 作者: 冯钦玉 吴升筌 周建忠 张朝阳 蔡明霞 高鑫
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光电化学 热力效应 极化曲线 加工形貌
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0502002

摘要

在所构建的纳秒脉冲激光电化学复合加工(LECM)系统中,利用激光辐照和脉冲电化学复合加工的方法,在相同的工艺参数下,分别对304不锈钢、7075铝合金、1060纯铝等金属和脆性材料硅进行了加工试验.探讨了激光热力效应促进电化学加工的机理,并对不同金属材料的极化曲线进行了测量.通过扫描电子显微镜(SEM)对比分析了不同材料复合加工表面的微观形貌;并通过超景深三维显微镜对不同材料的加工深度、宽度与深宽比进行了分析.试验结果表明,在激光热力作用下,铝合金的电化学刻蚀质量和表面形貌较好,且可以加工出深宽比较大的微结构;脆性材料则存在微颗粒的冲击崩离.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周建忠		202	1969	25.0	33.0
2	张朝阳		31	143	7.0	10.0
3	冯钦玉		5	33	4.0	5.0
4	高鑫		4	19	1.0	4.0
5	蔡明霞		4	14	2.0	3.0
6	吴升筌		1	0	0.0	0.0