红外遥感器网状微结构制作工艺

• 作者: 冷雁冰 吴博琦 孙艳军 王丽 董连和
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 红外遥感器 等效介质理论 反应离子刻蚀技术 网状微结构 透射衍射效率
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 222-226
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.2|TN305.7
• 字数: 2286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.124102

摘要

为了满足航天红外遥感器光学元件透过率高、散热性好的要求,提出一种具有波长选择特性的网状微结构.采用等效介质理论、数学建模理论方法设计网状微结构特征参数,并通过Matlab软件辅助模拟微结构表面光谱辐射特性.运用离子刻蚀机制备网状微结构,通过扫描电子显微镜测量微结构表面形貌,并进行分析.根据结果判断反应气体流量、射频电源功率、反应腔内压强三个工艺参数对微结构形貌及微结构侧壁陡直度具有很大影响,以及确定最佳工艺参数组合.实验结果表明:在最佳工艺参数组合下制备的网状微结构,10.6 μm工作波长下透射衍射效率大于91.5％,基本满足红外遥感器对网状微结构光学特性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董连和	长春理工大学光电工程学院	45	151	7.0	11.0
2	孙艳军	长春理工大学光电工程学院	36	106	6.0	9.0
3	冷雁冰	长春理工大学光电工程学院	34	117	6.0	10.0
4	王丽	长春理工大学光电工程学院	32	34	3.0	4.0
5	吴博琦	长春理工大学光电工程学院	7	9	1.0	3.0