C含量对电弧离子镀TiAlCxN1-x(x=0,0.18,0.41,0.49,0.69)薄膜性能的影响

• 作者: 张勇 张泽辉 李林 杨立军
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 TiAlCN 附着力 摩擦系数 硬度
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 1455-1458
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

在GCr15轴承钢基体上,利用多弧离子镀技术低温(175℃)沉积TiAlCN涂层.利用SEM、EPMA、XRD、附着力测试仪、纳米压痕仪和UMT-2高温摩擦磨损测试仪研究薄膜性质.结果表明,涂层表面光滑平整、均匀致密且无明显孔洞.涂层表面存在一定数量的液滴颗粒,薄膜厚度约为2 μm.在涂层中,发现了晶体结构为fcc-TiN结构,薄膜的晶粒大小为10～30 nm;随着薄膜中C元素的加入,XRD谱中(Ti0.5,Al0.5)N峰出现了宽化;在TiAlN中引入C,附着力下降,随着涂层中C含量的增加,薄膜中的A1和Ti比例未发生明显变化,附着力略微增加,但硬度和弹性模量先增加后减小,摩擦系数一直减小.