基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法

• 作者: 乔栋 吴宏圣 曾琪峰 续志军
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 回归分析 绝对式光栅尺 精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 机械与材料工程
• 页码范围: 21-23,79
• 页数: 4页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.13245/j.hust.150105

摘要

提出一种使用回归分析提高绝对式光栅尺测量精度的方法．分析了影响绝对式光栅尺测量精度的因素以及提高其测量精度的方法；对JC09型绝对式光栅尺的测量值和真值进行回归分析，得到回归方程；对回归方程进行了显著性分析，并提出了修正方程；通过实验验证了该方法能够有效提高绝对式光栅尺的测量精度．实验结果表明：在绝对式光栅尺800 m m测量长度内，测量精度由0～18．25μm提高到－4．21～5．72μm ．另外，该方法具有成本低、计算量少以及易于实现的优点．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	续志军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	572	14.0	22.0
2	乔栋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	58	3.0	5.0
6	吴宏圣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	364	10.0	19.0
7	曾琪峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	53	2.0	3.0