空气耦合Lamb波在单晶硅中的传播特性和缺陷检测研究

• 作者: 何存富 刘增华 刘岳鹏 吴斌
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅 空气耦合 Lamb波 相关系数 缺陷检测
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 仪器科学与技术
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TB553
• 字数: 4187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2015.12.001

摘要

单晶硅是制造硅太阳能电池的主要材料之一，但其中的各类缺陷对其光电转换效率影响颇大。针对这些问题，采用空气耦合Lamb波检测方法对单晶硅产品的质量进行快速评价。理论计算Lamb波在各向异性的单晶硅中的频散曲线，得到Lamb波在不同方向上的理论速度分布；利用空气耦合超声传感器在(001)晶面的单晶硅中激励出A0模态的Lamb波，研究200 kHz频率下Lamb波的入射角度与信号幅值的关系，确定最优入射角度为13°。采用相位谱的方法计算A0模态的相速度，试验结果与理论值吻合良好。利用波包幅值法和相关函数法分别计算 A0模态的群速度，结果说明相关函数法测得的群速度与理论值误差更小；采用扫描方法对单晶硅进行缺陷检测，通过计算接收信号与参考信号的相关系数，确定出缺陷的位置和大小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何存富	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	356	4897	36.0	53.0
2	吴斌	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	378	5047	37.0	54.0
3	刘增华	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	92	1480	25.0	35.0
4	刘岳鹏	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	2	17	1.0	2.0