长脉冲激光辐照单晶硅的表面形态

• 作者: 张巍 郭明 金光勇 高勋
• 来源期刊: 沈阳工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 毫秒激光 脉冲激光 损伤 单晶硅 表面形态 微结构 解理 相变
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 信息科学与工程
• 页码范围: 548-552
• 页数: 5页
• 分类号: TJ01
• 字数: 3353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2015.05.13

摘要

针对长脉冲激光在空气中对单晶硅进行辐照所产生的表面形态问题,研究了不同能量密度的激光辐照后单晶硅的表面形态变化及其形成机理.结果表明:单晶硅表面的涟漪波纹状微结构与光的散射和干涉有关;随着激光能量密度的增加,单晶硅表面出现解理现象,其主要是由较高的温度梯度而引起的应力所致;熔融和汽化时的单晶硅表面形态主要是由载流子动力及等离子体波引起的;激光辐照单晶硅中心点温度曲线在单晶硅熔点和沸点附近时出现平台期,这是由于材料在熔融和气化过程中要吸收潜热;激光能量密度越大,单晶硅表面的损伤面积越大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高勋	长春理工大学理学院	49	266	7.0	15.0
2	金光勇	长春理工大学理学院	93	270	9.0	11.0
3	郭明	长春理工大学理学院	17	19	3.0	3.0
7	张巍	长春理工大学理学院	7	14	3.0	3.0