单悬臂梁阵列式压电能量采集器的研究?

• 作者: 丑修建 张文栋 王二伟 甄国涌 贺婷
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 振动能量采集 压电效应 MEMS ANSYS PZT薄膜
• 年，卷（期）: 2015,（14）
• 所属期刊栏目: 工艺?技术
• 页码范围: 14112-14117,14122
• 页数: 7页
• 分类号: TN384
• 字数: 3519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.14.022

摘要

根据当前物联网以及无线传感网络的需求,以MEMS技术为依托,结合压电效应,提出了一种单悬臂梁阵列式压电式能量采集器。在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用 ANSYS 软件仿真,得出两种微结构的谐振频率分别为3．9和4 kHz；利用溶胶-凝胶法制备出15和20层的 PZT 压电功能薄膜,电镜扫描其厚度分别为1849,2667 nm,AFM对比表面形貌其粗糙度分别为1．8和2．11 nm,后者致密更好,颗粒较小,相变温度相对比较高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	甄国涌	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	99	529	11.0	16.0
2	张文栋	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
3	丑修建	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
4	贺婷	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	9	48	5.0	6.0
5	王二伟	中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室	9	21	3.0	4.0