CdGeAs2晶体的表面XPS表征及表面损伤层测定

• 作者: 何知宇 朱世富 李佳伟 赵北君 陈宝军
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 关键词: 非线性材料 CdGeAs2 XPS XRD回摆曲线 表面损伤层
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 844-847
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

采用改进的布里奇曼法生长出尺寸为Φ15 mm×45 mm,外观完整无开裂的CdGeAs2单晶体.为了提高器件的使用性能,需要对晶体进行表面处理,主要对CdGeAs2晶片表面的抛光技术进行了研究.通过对解理面切割分析得到(101)晶面,机械抛光后进行了XPS分析.对该晶面采用溴甲醇溶液进行腐蚀抛光,采用XRD回摆及光学显微镜对不同抛光时间的试样进行观测.结果表明,CGA晶体的(101)晶面在常温下采用溴甲醇溶液腐蚀50 s后,晶片表面光滑无划痕,并且具有半峰宽较小的回摆曲线,同时计算得到CdGeAs2晶体的表面损伤层厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱世富		151	840	14.0	20.0
2	赵北君		132	744	14.0	19.0
3	陈宝军		56	160	7.0	9.0
4	何知宇		69	221	8.0	11.0
5	李佳伟		9	40	3.0	6.0