基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制

• 作者: 叶玅宏 吴立群 杨贤龙 林志朋 王亚星
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 网格化微加工 超声驻波 粒子控制 多晶硅
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微/纳米制备与测量技术
• 页码范围: 54-59
• 页数: 6页
• 分类号: TB559
• 字数: 509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024111

摘要

为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法.通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力.首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型.然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证.最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果.多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴立群	杭州电子科技大学机械工程学院	48	250	8.0	15.0
2	王亚星	杭州电子科技大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0
3	林志朋	杭州电子科技大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0
4	叶玅宏	杭州电子科技大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0
5	杨贤龙	杭州电子科技大学机械工程学院	3	7	1.0	2.0