NIST:光学显微技术作为有效纳米测量手段

• 作者: 楚珺尧
• 来源期刊: 中国计量
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 计量荟萃
• 页码范围: 58
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

最新实验结果证明:美国国家标准与技术研究院(NIST)几年前研发的技术可以使光学显微镜以纳米级的分辨力测量物体三维形状,远低于光学显微技术正常的分辨力极限(对于绿光大约是250nm).该成果有望使这项技术成为纳米器件,例如,下一代微芯片制造的有用质量控制工具. NIST实验显示离焦扫描光学显微(TSOM)技术能够探测3-D形状细微差别,揭示直径小于50nm的物体中尺寸小于1nm的变化.2013年NIST的模拟研究显示:TSOM技术理论上可以达到这一点,目前新的测量结果使其在实际中得到证实.