直拉单晶上排气热场与下排气热场分析

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直拉单晶上排气热场与下排气热场分析

直拉单晶上排气热场与下排气热场分析

作者：

连文翠

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单晶硅

工艺流程

热场

排气

摘要：

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关键词云

关键词热度

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文献信息

篇名	直拉单晶上排气热场与下排气热场分析
来源期刊	科学导报	学科
关键词	单晶硅工艺流程热场排气
年，卷（期）	2015,（6）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	220-220,221
页数	2页	分类号
字数		语种	中文
DOI

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序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	连文翠		2	2	1.0	1.0

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