压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备

• 作者: 佟建华 冯可 夏善红 方东明 王宇
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 压电驱动 PZT
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 90-94
• 页数: 5页
• 分类号: TM938.866|TP212
• 字数: 2698字
• 语种: 中文

摘要

提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果.该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能.对传感器感应电荷的能力进行了计算;并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数.该微型电场传感器采用微加工技术制作,每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/SiO2/Si),其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备.测试结果证明,传感器具有良好的响应特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	王宇	中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室	211	1906	23.0	32.0
6	佟建华	中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室	32	181	8.0	12.0
7	方东明	中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室	8	129	7.0	8.0
8	冯可	中国科学院电子学研究所传感器技术国家重点实验室	2	5	1.0	2.0