不同沉积粒子对非晶碳氢薄膜性质影响的分子动力学研究

• 作者: 张铭 林申晔 楚上杰 潘妍宏 王昭辉 王炎
• 来源期刊: 凝聚态物理学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 分子动力学 非晶碳氢薄膜 入射能量 入射角度
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: TB3

摘要

非晶碳氢薄膜(a-C:H film)是一类具有亚稳态非晶结构的薄膜材料,具有许多优异特性,如极好的力学性能、光学透过性、生物相容性、极低真空摩擦系数等。文章介绍了不同沉积粒子在不同入射能量及角度的情况下,对非晶碳氢薄膜C、H原子含量、沉积率,薄膜粗糙度和sp3键组态的碳含量的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张铭		44	107	6.0	8.0
2	王炎		6	3	1.0	1.0
3	潘妍宏		4	3	1.0	1.0
4	王昭辉		5	5	2.0	2.0
5	楚上杰		5	4	1.0	1.0
6	林申晔		4	3	1.0	1.0