具有公自转运动模式的高效轮式抛光工具设计

• 作者: 张学军 张毅 李英杰 李锐钢
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学抛光 计算机辅助表面成型 公自转轮式抛光 去除函数 高效加工
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 155-166
• 页数: 12页
• 分类号: TB133
• 字数: 4340字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20160901.0155

摘要

为了提高光学加工效率,缩短大口径光学元件制造周期,本文提出了一种具有公自转运动模式的新型高效抛光方式,对其结构、工作原理以及去除特性进行了研究.首先,介绍了公自转抛光装置机械结构及工作原理.接着,根据Hertz接触理论和Preston方程进行了去除函数建模,讨论了不同转速比情况下的去除函数形状.然后,根据理论模型进行了去除函数实验、工艺参数实验以及稳定性实验,研究了压入深度、转速等工艺参数对去除结果的影响.最后,进行了200 mm口径SiC工件的仿真加工.实验结果表明:在2 mm压入深度、200 rpm转速情况下,去除区域直径为19.23 mm,体去除率达到0.197 mm3/min,去除效率高于同等去除区域大小的传统小磨头加工方式;仿真加工结果表明:SiC仿真镜经过3.7h加工,面形从3.008λPV,0.553λRMS提高到0.065λPV,0.005λRMS,收敛效率为达到98.18％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张毅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室	121	1404	19.0	31.0
2	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室	124	1634	25.0	33.0
3	李锐钢	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室	13	104	6.0	10.0
4	李英杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室	8	50	4.0	7.0