不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

• 作者: 付昌 张国军 简泽明
• 来源期刊: 声学与电子工程
• 关键词: MEMS矢量水听器 带宽 灵敏度
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 2016年船舶通讯导航会议论文集锦(一)
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 字数: 1504字
• 语种: 中文

摘要

对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,验证了理论分析的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学电子测试技术国防科技重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	简泽明		5	15	2.0	3.0
6	付昌		2	1	1.0	1.0