功率 LIGBT 热载流子退化机理及环境温度影响

• 作者: 刘斯扬 周雷雷 孙伟锋 张春伟 张艺
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 横向绝缘栅双极型晶体管 环境温度 热载流子效应 退化
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 255-259
• 页数: 5页
• 分类号: TN386.2
• 字数: 3687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0505.2016.02.005

摘要

研究了横向绝缘栅双极型晶体管（ LIGBT）的热载流子退化机理及环境温度对其热载流子退化的影响。结果表明，器件的主导退化机制是鸟嘴处大量界面态的产生，从而导致饱和区阳极电流Iasat和线性区阳极电流Ialin存在较大的退化的主要原因，同时，由于Ialin的分布比Iasat的分布更靠近器件表面，故Ialin的退化比Iasat的退化更严重；而器件沟道区的碰撞电离和热载流子损伤很小，使得阈值电压Vth在应力前后没有明显的退化。在此基础上，进一步研究了环境温度对LIGBT器件的热载流子退化的影响。结果表明， LIGBT呈现正温度系数，且高温下LIGBT的阈值电压会降低，使得相同应力下其电流增大，导致器件碰撞电离的增大，增强了器件的热载流子损伤。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙伟锋	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	105	634	13.0	19.0
2	刘斯扬	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	21	54	4.0	5.0
3	张春伟	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	8	18	3.0	4.0
4	张艺	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	2	3	1.0	1.0
5	周雷雷	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	1	3	1.0	1.0