热载流子退化对MOS器件的影响

• 作者: 张晓明 章晓文
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 热载流子注入 加速寿命试验 阈值电压 可靠性评价
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 可靠性物理、失效分析与产品改进
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2002.01.004

摘要

介绍了评价热载流子注入效应的加速寿命试验,针对具体的工艺线,提取了MOS管加速寿命试验的模型参数,以阈值电压变化10 mV为失效判据,分别对0.8μm和0.6μm工艺线的热载流子注入效应进行了评价.整个测试过程由程序控制,设备精度高,使用简便,适用于亚微米和深亚微米工艺线的可靠性评价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章晓文		16	78	5.0	7.0
2	张晓明		10	50	5.0	6.0