ZnO纳米薄膜及其声表面波传感器的制备与特性研究

• 作者: 张淑仪 杨跃涛 水修基 王艳
• 来源期刊: 声学学报
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 纪念魏荣爵先生诞辰100周年
• 页码范围: 568-574
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

结合RF磁控溅射和水热合成法制备ZnO纳米结构薄膜,利用XRD及SEM分析ZnO薄膜的晶体结构和形貌、XPS分析薄膜的化学组分.结果表明,在适当的条件下,所制备的ZnO薄膜为具有良好c轴取向的纳米棒状结构,且ZnO纳米棒薄膜表面吸附的氧原子及晶格的氧空位缺陷增多.利用所制备ZnO纳米棒薄膜的上述特性,将其作为气体敏感材料.分别沉积于128° YX-LiNbO3和36°YX-LiTaO3基片,研制多层结构的声表面波(Rayleigh波和Love波)氢气传感器,并进行室温条件下氢气的实时传感检测,结果显示所研制的Love波传感器具有更高的灵敏度,性能更优化.