使用冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试的困难与解决方法

• 作者: 杨海峰 高尚
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 冷场扫描电镜 电子背散射衍射 半浸没式物镜 畸变矫正
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 试验技术与方法
• 页码范围: 454-456,488
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 2381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11973/lhjy-wl201607005

摘要

针对部分冷场扫描电镜进行电子背散射衍射测试时遇到的困难和误区，指出冷场扫描电镜的束流与稳定性能够满足电子背散射衍射测试的表征要求。提出了针对半浸没式物镜的结构，应优先在低倍模式下进行电子背散射衍射测试，高倍模式下测试应使用磁场校正，并指出在低倍放大下应注意低倍位置校正的问题。对于冷场扫描电镜，通过以上方法，大部分电子背散射衍射测试都可以正常进行。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨海峰	哈尔滨工业大学深圳研究生院材料科学与工程学院	6	6	2.0	2.0
2	高尚	哈尔滨工业大学深圳研究生院材料科学与工程学院	9	20	1.0	4.0