基于声传感器的新型MEMS听诊探头结构设计初探

• 作者: 刘梦然 刘源 张国军 张文栋 张斌珍 王续博 薛晨阳 郭楠
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 声传感器 听诊探头 敏感微结构
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 535-539
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 3057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.03.008

摘要

针对传统听诊器主要依靠医生听诊，根据个人经验判断病情的问题，结合MEMS技术和声传感器，设计了一种基于声传感器的新型MEMS听诊探头微结构。该MEMS听诊系统由MEMS听诊探头中的敏感微结构接收人体心音信号，经过运算放大和滤波，转换为电信号进行后续分析。建立了听诊头敏感微结构的数学模型，利用ANSYS软件仿真得到该结构的动态特性。利用MEMS工艺加工出听诊头敏感微结构并进行初步测试，测试结果表明提出的基于声传感器的新型MEMS听诊器可以实时显示听诊对象的心音波形。将MEMS声传感器应用于临床听诊为心音采集提出了一种新的思路，具有广泛应用前景。